本文的目的为测试zemax OpticStudio光学软件的非球面拟合精度,仅作参考。
武汉宇熠公司官网:http://www.ueotek.com/
先说结论:
zemax的拟合精度非常高,精度可以达到1E-4nm级别,前提是能拟合上去。
有些面型无法拟合上去,就谈不上精度了,目前只能看运气。
非球面不是自由曲面,不能任意曲线拟合。
本文介绍大致分为四个阶段:
一、 建模
二、 生成评价函数
三、 优化
四、绘图分析
第一部分、建模
随便找一个目标非球面,数据如下
# Type Comment Radius Thickness Material Coating Semi-Diameter Chip Zone Mech Semi-Dia Conic TCE Par 1 Par 2 Par 3 Par 4 Par 5 Par 6 Par 7 Par 8
1 EVENASPH -1.320000000000000E+000 0.000000000000000E+000 H-K9L 1.800000000000000E+000 0.000000000000000E+000 2.807000000000000E+000 1.000000000000000E+002 0.000000000000000E+000 0.000000000000000E+000 2.000000000000000E-005 -4.000000000000000E-006 -2.000000000000000E-003 2.130000000000000E-002 7.000000000000000E-007 -4.000000000000000E-006 9.000000000000000E-007
绘图
图中橙色的为面1——目标非球面
面2为拟合面
第二部分,添加拟合目标
利用宏自动添加拟合目标
CreatMeritFun.ZPL
文件下载(20元):
https://www.optkt.cn/article-904.html
宏的原理是将面1各点孔径的矢高输入到评价函数中,然后让面2的对应孔径等于这个矢高值,权重都为1.
效果如图:
第三部分、优化
1)添加优化变量
将面2的曲率半径、conic系数,4th~16th系数添加为优化变量
2)用锤型优化优化几秒
评价函数基本归零
拟合完成
第四部分、评价部分
查看拟合残差
利用宏来查看拟合残差
ResidualPlot.ZPL
文件下载(20元):
https://www.optkt.cn/article-904.html
执行宏的效果图
可以看到最大拟合误差在1E-4纳米级别。拟合精度非常高。