刚开始没控制，后期开始控制就很难。最近尝试了几种方法：

1. ZEMAX里，建立一个只有435nm的结构，让这个结构的操作数起作用，降低控制性能的操作数的权重。同事用了有效，MTF降低两个点左右。

2. ZEMAX里，用TRAR控制和470nm的差值，我没成功。

3. CV里控制和470nm的差值，我是控制到3um内，然后再到ZEMAX里，一方面用默认的跑，一方面控制不要变大，最终是改善的。

4. 换材料，同事用了有效，性能有下降。

以后还是一开始就用435控制下，后来真的折磨人。